SAYDAM İLETKEN KAPLAMALARIN OPTİK VE ELEKTRİK PARAMETRELERİNİN ÜRETİM PARAMETRELERİNE BAĞIMLILIĞI


Makale AdıSAYDAM İLETKEN KAPLAMALARIN OPTİK VE ELEKTRİK PARAMETRELERİNİN ÜRETİM PARAMETRELERİNE BAĞIMLILIĞI
YazarlarÜ. Özlem AKKAYA ARIER
Anahtar kelimelerGeçirgenlik , elektrik iletkenlik , sıçratma , saydam iletken , üretim parametreleri. ,
Makale ÖzetiBu çalışmada, reaktif dc magnetron sıçratma tekniği kullanılarak katkılı ITO (İndium kalay oksit) ile kaplanan camın elektrik ve optik parametrelerinin, üretim parametrelerine bağlı etkilenişi incelenmiştir. Argon gazı debisi, oksijen gazı debisi, güç, geçiş hızı ve geçiş sayısı gibi üretim parametrelerinin değişik değerleri için, ITO kaplı (saydam iletken) camın gösterdiği optik geçirgenlik ve elektriksel iletkenlik değerlerinin, beklenildiği gibi birbirine göre ters yönde değiştiği gözlenmektedir. İletkenliğin artması, geçirgenliğin azalmasına neden olmaktadır. Bu iki parametre için optimum bir düzey sağlayan üretim parametrelerinin değerleri araştırılmıştır. Deneylerde argon gazı debisi, geçiş hızı ve geçiş sayısı için önceden belirlenen değerler kullanılmış, oksijen gazı debisi ve güç parametrelerinin değiştirilmesiyle yetinilmiştir. Bu iki parametredeki değişim sonunda camın geçirgenliği ve iletkenliği için % 78 ve 65 ohm/kare değerleri, optimal değerler olarak elde edilmiştir.
Makale İngilizce Özet
KeywordsTransmission, electric conductivity, sputtering, transparent conductor, process parameters.
Makale Dosyası İndirMakale Tam Metni

Games like Gold Miner game online and Mario Game articles and site maker games of Phone Games of Necmi

.